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晶圓拋光晶片拋光過程中旋轉工作臺的平面度檢測設備推薦

發布時間:2024-12-11 點擊量:77

晶圓拋光晶片拋光過程中旋轉工作臺的平面度檢測設備推薦

在半導體制造設備的晶片拋光過程中,需要保持裝有晶片的上板和鋪有拋光布的旋轉工作臺(下板)的平面度。如果出現問題,晶圓就會厚度不均勻,不平整,無法進行均勻的拋光。此外,曝光期間圖像也會失焦。

晶圓的平整度對于后續的曝光工藝至關重要,因此在拋光過程中必須保持平整。

我們的數字水準儀用于保證上下平臺的平整度。

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這款 2 軸數字水平儀(有線)是一款高精度且輕便的水平儀。與普通水平儀相比,它可以數字化顯示,使現場調整更加容易。此外,由于顯示器和水平儀通過電線連接,因此可以從遠處進行測量。由于它重量輕,因此還可以測量精細區域,例如處理晶圓的區域。監視器屏幕上將顯示氣泡,您可以像查看氣泡水平儀一樣進行調整。由于它是數字顯示的,操作員之間的讀數沒有變化。


特征

01水平X軸和Y軸的角度精度為±0.001deg(17.5μ/m)。

02在垂直距離較窄的地方進行水平觀察也可以!

在垂直距離較窄的地方進行水平觀察也可以!

03即時數字測量判斷使標準化工人標準成為可能。

042軸同時調整可減少調整工作時間。

05通過設定可接受的角度范圍,即使是初學者也可以輕松調節水平! !

監控詳情

 

規格

物品
內容
傳感器部分線性角X方向±0.3度 Y方向±0.3度
測量分辨率0.0002度
零點重復性±0.001度或更小
響應速度50 毫秒或更短
工作溫度-10℃~+50℃
主體微電腦32位
模數部分14位
測量范圍±0.3度
A/D分辨率0.000025度
顯示單元0.0001度
通過范圍設定范圍0.0001度
量程切換0.01/ 0.001/ 0.0001
超過顯示0.3度以上
功能傳感器連接數1通道
顯示部分4.3英寸彩色液晶觸摸屏

480×272點
電源
專用AC適配器DC6V/2A

4 節 AA 電池(1.5V)
外形尺寸監視器寬96×深36×高145毫米
傳感器(SUS底座)φ50×H19毫米
電纜2米
重量監視器392克
傳感器70克
配件
4 節 AAA 電池(1.5V)

專用AC適配器DC6V/2A

操作說明





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