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日本富士工業fuji在線式多組分密度計

日本富士工業fuji在線式多組分密度計

產品型號: FUD-1 Model-53

所屬分類:

產品時間:2024-09-05

簡要描述:日本富士工業fuji在線式多組分密度計FUD-1 Model-53
產品總覽
該模型在保持FUD-1 Model-53的優勢(例如可維護性和高精度在線測量)的同時,還具有用于半導體制造工藝的小型單元型振蕩器。

詳細說明:

日本富士工業fuji在線式多組分密度計FUD-1 Model-53

 

產品總覽

該模型在保持FUD-1 Model-53的優勢(例如可維護性和高精度在線測量)的同時,還具有用于半導體制造工藝的小型單元型振蕩器。

多組分濃度計的特點

可以實時完成3個組件的2個組件密度計側

  • 標配模擬DC 4-20mA(2線)和數字RS232C
  • 標配測量誤差輸出和報警輸出
  • 配備自診斷功能和錯誤信息顯示為標準配置
  • 緊湊輕便的電池式變送器可以直接安裝在生產線上
  • 由于潤濕材料的質量以及采用PFA的小產量設計,因此對化學藥品沒有影響。
 

值得

  • 可以高精度連續測量
  • 免維護,無需定期調整/校準
  • 易于安裝,因為在安裝過程中無需進行任何調整
  • 通過實時輸出輕松反饋到過程

 

用途

  • CMP工藝中的CMP漿料和氧化劑濃度控制
  • 清洗過程中清洗液的濃度控制(HF + HNO3 ? HF + H2SiF6等)
  • 控制蝕刻過程中的蝕刻溶液濃度(TMAH +抗蝕劑,TMAH + Si等)
  

日本富士工業fuji在線式多組分密度計FUD-1 Model-53

規范

模型FUD-1 53型
 轉換器
測量參數超聲波傳播速度,溫度,電導率
顯示LCD(密度1,密度2,溫度,聲速,電導率/各種參數)
輸出信號模擬DC 4?20mA:2個系統(可自由設定濃度值)
數字RS232C(濃度1,濃度2,聲速,溫度,電導率,錯誤代碼)
報警上下限測量錯誤:2個系統
電源供應AC100V-240V 50 / 60Hz兩用30VA(也可使用DC24V)
施工面板安裝類型(符合DIN標準)
環境溫度轉換器0-50°攝氏度
RH85%以下(無凝結)
功能輸出范圍設定功能,警報輸出設定功能,濃度顯示移動平均值功能,濃度顯示偏移及增益設定功能,自診斷功能,故障保險功能,異常值取消功能,溫度時間常數校正
選項溫度輸出(DC4?20mA)
RS485輸出(不能與RS232C同時輸出)
通道(校準曲線)高達7ch
合適的發射器示例SA-20S29 +電導率儀,SA-20S27 +電導率儀

 

 模型 發射機
SA-20S29 +電導率儀SA-20S27 +電導率儀
 震動元素 PZT(2MHz)x1PZT(2MHz)x2
 測量元件 熱敏電阻熱敏電阻
 測量液體溫度 0-100°攝氏度 0-80°攝氏度
 施工 流通池 流通池
 濕件材料 PFA / PFA涂層 PFA
 聯合 3/4配件(可更換) 3/4配件(可更換)
 耐壓性 0.3兆帕 0.3兆帕
 流量 5l / min(推薦) 5l / min(推薦)
 重量 2.5公斤 2.5公斤
 電纜 電纜6m電纜6m
 環境溫度 5-45°攝氏度 5-45°攝氏度


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